La PLATEFORME TECHNOLOGIQUE AMONT (PTA) et NANOLYON

présentent un parc technologique générique et spécifique dédié à l’élaboration des matériaux et à la fabrication de composants, de capteurs, de microsystèmes...

FILIÈRES ET SAVOIR-FAIRE TECHNOLOGIQUE

Nanoélectronique / MEMS / Optoélectronique / Spintronique / PV silicium / Oxydes fonctionnels cristallins / Nanophotonique / Microfluidique / Biotechnologies

OFFRE

- Ouverture aux projets académiques et industriels
- Flexibilité en termes de matériaux acceptés
- De la simple étape à la réalisation complète d’un dispositif
- Une expertise au service de développements innovants
- Du personnel technique qualifié
- Un lien étroit avec les potentiels des laboratoires de recherche
- Un accès souple et rapide
- Des équipements à l’état de l’art
- Utilisation en mode autonome ou prestation de service
- Formation aux micro-nanotechnologies

CHIFFRES CLÉS

- Salles blanches : 1700 m² (ISO7-ISO5)
- Personnel technique : 30
- 40 000 heures / an
- 500 utilisateurs
- Parc technologique : 22 M€

Actualités
Acquisition d’un équipement de de gravure ICP-RIE cadre du projet CARAT 2020

Un équipement de gravure plasma a été acquis à Grenoble, pour un coût de 350.000 € HT, pour une utilisation de type « Recherche et développement » conçu pour graver des couches minces de quelques nanomètres à quelques microns ... Lire la suite

Acquisition d’un équipement de lithographie par nanoimpression dans le cadre du projet FEDER CARAT 2020

Un quatrième équipement a été acquis, pour un coût de 495.000 € HT, un bâti de nanoimprint en mode pas à pas (« Step and Repeat ») SET FC 300 – High Accuracy Flip-Chip Bonder pour une utilisation de type « Recherche et développement » de nanostructuration grande surface. Son installation est prévue dans le nouveau bâtiment de l’INL en cours de construction sur le Site de la Doua. Lire la suite

Acquisition d’un bâti de pulvérisation cathodique UHV dans le cadre du projet FEDER CARAT 2020

Un troisième équipement a été acquis, pour un coût de 286 000 Euros HT, un bâti de sputtering pour une utilisation de type « Recherche et développement » multi-matériaux et multiprocédés. Lire la suite

Acquisition d’un réacteur PVD dans le cadre du projet européen FEDER CARAT 2020

Un deuxième équipement a été acquis, pour un coût de 250 000 Euros HT, un bâti de dépôt par canon à électrons pour pour les dépôts métalliques « haute vitesse » épais du cm² au substrat de 200mm. Lire la suite

Acquisition d’un ICP-RIE dans le cadre du projet européen FEDER CARAT 2020

Un premier équipement a été acquis, pour un coût de 350 000 Euros HT, un bâti de gravure ICP – RIE (Inductively Coupled Plasma - Reactive Ion Etching) pour une utilisation de type « Recherche et développement » multi-matériaux et multiprocédés. Cet équipement est cofinancé par le projet IDEXLYON Scientific Breakthrough IPPON. Lire la suite

Les centrales

 

Les partenaires

 

Le projet FEDER-CARAT

 

L’INL à Lyon et le LTM à Grenoble bénéficient d’un financement de l’Union Européenne FEDER pour développer le projet CARAT 2020. NANOLYON et la PTA sont rassemblées au sein de l’Alliance CARAT (Alliance des Centrales Auvergne Rhône-Alpes de Technologie) avec l’ambition d’offrir à la recherche publique et à l’industrie un ensemble unique, cohérent, coordonné et complémentaire du CEA-LETI avec des équipes techniques fortes.

L’Alliance CARAT est née de la volonté de l’INL à Lyon, du LTM et de l’IRIG-CEA à Grenoble de mettre à disposition des acteurs régionaux, publics et industriels une plateforme offrant les savoir-faire et les moyens en micro et nanotechnologies, au service de l’innovation.
Elle a pour objectif d’organiser de manière cohérente l’offre régionale sur les 2 grands sites de Grenoble et Lyon et d’ouvrir aux partenaires un ensemble de filières complémentaires : nanoélectronique et technologies dérivée (spintronique, photonique…), intégration des matériaux III-V sur silicium, photovoltaïque, oxyde fonctionnel, microsystème, technologie pour la santé (silicium, micro-fluidique)
Dans le cadre de cette Alliance, le projet CARAT 2020 (d’un montant total de 3,2 ME) a pour objectifs:
– l’accroissement de son offre technologique par des investissements (gravures ICP-RIE, dépôts PVD et ICP-CVD, nanoimpression)
– la maîtrise de procédés à l’état de l’art afin de pousser les filières les plus en prise avec les enjeux industriels.
Ces investissements permettent un effet de levier important en synergie avec le parc instrumental existant.

Pour mener à bien son projet l’Alliance CARAT bénéficie d’un financement Européen FEDER de plus de 1,37M d’Euros.

Pour aller plus loin :

Union Européenne en France / Union Européenne en Auvergne Rhône Alpes / Commission Européenne